陶瓷靶材

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陶瓷溅射靶材/化合物溅射靶材:本公司供应的陶瓷溅射靶材含有目前已经成熟的产品和正在开发的各种产品，产品系列较全，并具有良好的技术开发能力。大多数产品已经量产，品质稳定可靠，供货及时。

陶瓷靶材主要生产工艺： 真空热压烧结，热等静压烧结，冷压烧结，冷等静压烧结，真空熔炼，磁悬浮冷坩埚熔炼，真空电弧熔炼等。

陶瓷靶材主要产品列表：（氧化物靶材，氟化物靶材，碳化物靶材，氮化物靶材，硫化物靶材，硅化物靶材，硼化物靶材，硒化物靶材，碲化物溅射靶材，锑化物溅射靶材，磷化物靶材以及一些混合物靶材，掺杂物靶材），我们尽量将批量生产的陶瓷靶材罗列出来，但客户如果未能找到的产品，请与我中心联系．我公司一流的开发团队，齐全的生产设备，为您提供靶材完全的解决方案。

材料世界网产品试制中心可为客户定制成分特殊，规格特别的各类产品，尤其擅长掺杂类陶瓷靶材，混合物靶材。材料世界网愿与您一起成长。 同时材料世界网量产化生产线供应品质稳定优异的陶瓷靶材。欢迎来电来函咨询洽谈。

陶瓷溅射靶材形状尺寸大致如下：
圆片，圆台（直径<360mm，厚度>1mm）
矩形，片材，台阶片（长<300mm，宽<300mm，厚度>1mm）
管材，圆环，旋转靶材（直径<360mm，厚度>2mm）
其它按客户要求订制，可按图纸加工，大尺寸需来电来函洽谈
氧化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	规格
三氧化二铝靶材	Al2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三氧化二锑靶材	Sb2O3	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化锡掺氧化锑靶材	(Sb:SnO2)(ATO)	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
钛酸钡靶材	BaTiO3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三氧化二铋靶材	Bi2O3	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二氧化铈靶材	CeO2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三氧化二铬靶材	Cr2O3	99.9%	圆片靶， 矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铜靶材	CuO	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化镝靶材	Dy2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铒靶材	Er2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铕靶材	Eu2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铁靶材	Fe2O3		圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化镓靶材	Ga2O3	99.995%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钆靶材	Gd2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二氧化铪靶材	HfO2	99.99%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
氧化钬靶材	Ho2O3	99.99%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
三氧化二铟靶材	In2O3	99.99%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
氧化铟掺氧化锡靶材	ITO	99.99%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
三氧化二铁靶材	Fe2O3	99.9%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
四氧化三铁靶材	Fe3O4	99.9%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
铝酸镧靶材	LaAl2O3	99.9%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
铌酸镧靶材	LaNbO3	99.9%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
氧化铅靶材	PbO	99.99%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
钛酸铅靶材	PbTiO3	99.9%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
锆酸铅	PbZrO3	99.9%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
铌酸铅靶材	LiNbO3	99.9%	圆片靶， 矩形靶， 圆柱靶， 台阶靶，按图纸加工
氧化镥靶材	Lu2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化镁靶材	MgO	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钼靶材	MoO	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三氧化二钼靶材	MO3	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钕靶材	Nd2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
一氧化镍靶材	NiO	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五氧化二铌靶材	Nb2O5	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化镨靶材	Pr6O11	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
钛锆酸铅靶材	PZT(PbZrO3-PbTiO3)	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钐靶材	Sm2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钪靶材	Sc2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
一氧化硅靶材	SiO	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
铬掺一氧化硅靶材	Cr-SiO	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二氧化硅靶材	SiO2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
钛酸锶靶材	SrTiO3	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
锆酸锶靶材	SrZrO3	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五氧化二钽靶材	Ta2O5	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铽靶材	Tb4O7	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铥靶材	Tm2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三氧化二钛靶材	Ti2O3	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五氧化三钛靶材	Ti3O5	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
一氧化钛靶材	TiO	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二氧化钛靶材	TiO2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钨靶材	WO3	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钨靶材	WO2.9	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五氧化二钒靶材	V2O5	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钇靶材	Y2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化镱靶材	Yb2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化锌靶材	ZnO	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铝 掺氧化锌靶材	AZO(ZnO:Al2O3)	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钆掺氧化锌靶材	GZO(ZnO:Gd2O3)	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铟掺氧化锌靶材	IZO(ZnO:In2O3)	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二氧化锆靶材	ZrO2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
钛掺氧化锆靶材	Ti:ZrO2	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钇稳定氧化锆靶材	YSZ(ZrO2:Y2O3)	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化硅掺氧化锆靶材	ZrO2+SiO2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
La0.67Sr0.33MnO3	LSMO	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
、	IGZO	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

氮化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	应用
氮化铝靶材	AlN	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化硼靶材	BN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化镓靶材	GaN	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化铪靶材	HfN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化铌靶材	NbN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化硅陶瓷靶材	Si3N4	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化钽靶材	TaN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳氮化钛靶材	TiCN	99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化钛陶瓷靶材	TiN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化钒靶材	VN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氮化锆靶材	ZrN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

碳化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	规格
碳化硼靶材	B4C	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化铬靶材	Cr3C2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化铪陶瓷靶材	HfC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化钼靶材	Mo2C	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化铌靶材	NbC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化硅靶材	SiC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化钽靶材	TaC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化钛靶材	TiC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳氮化钛陶瓷靶材	TiCN	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化钨靶材	W2C	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化钨靶材	WC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
掺镍碳化钨靶材	WC+Ni	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
掺钴碳化钨靶材	WC+Co	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化钒陶瓷靶材	VC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碳化锆靶材	ZrC	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

氟化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	规格
氟化铝陶瓷靶材	AlF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钡	BaF2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化镉	CdF2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钙陶瓷靶材	CaF2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化铈	CeF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化镝	DyF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化铒	ErF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化铪陶瓷靶材	HfF4	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化镧	LaF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化锂	LiF	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化镁	MgF2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钕陶瓷靶材	NdF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钾	KF	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化谱	PrF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化铅	PbF2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钠陶瓷靶材	NaF	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化锶	SrF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钐	SmF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
冰晶石 (Cryolite)	Na3AlF6	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钍	ThF4	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化镱	YbF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钇	YF3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

硅化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	规格
硅化铬靶材	CrSi	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化铬	CrSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硅化三铬陶瓷靶材	Cr3Si	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化钴	CoSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化铪	HfSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三硅化五钼陶瓷靶材	Mo5Si3	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化钼靶材	MoSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硅化镍	NiSi	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三硅化五铌陶瓷靶材	Nb5Si3	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化铌	NbSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三硅化五钽	Ta5Si3	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化钽靶材	TaSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三硅化五钛陶瓷靶材	Ti5Si3	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化钛靶材	TiSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化钨	WSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硅化三钒陶瓷靶材	V3Si	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化钒	VSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硅化锆靶材	ZrSi2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

硫化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	应用
硫化砷	As2S3	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化锑陶瓷靶材	Sb2S3	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化镉	CdS	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化铜	CuS	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化铟陶瓷靶材	In2S3	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化铁	FeS	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化铅陶瓷靶材	PbS	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化钼靶材	MoS2	99.95%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化锰	MnS2	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化铌	NbS1.75	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化钽	TaS2	99.95%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化钨陶瓷靶材	WS2	99.95%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硫化锌靶材	ZnS	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

硼化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	规格
硼化二铬	Cr2B	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化铬靶材	CrB2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硼化铬	CrB	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
三硼化五铬	Cr5B3	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化铪	HfB2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硼化铁	FeB	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
六硼化镧靶材	LaB6	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硼化二钼靶材	Mo2B	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五硼化二钼	Mo2B5	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硼化铌	NdB	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化铌靶材	NdB2	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硼化钽	TaB	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化钽	TaB2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化锆靶材	ZrB2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化钛靶材	TiB2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硼化钨	WB	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化钨靶材	WB2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硼化钒	VB	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硼化钒	VB2	99.5%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

硒化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	应用
硒化铋靶材	Bi2Se3	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硒化铬	CdSe	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硒化镓	Ga2Se3	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硒化铟	In2Se3	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硒化铅靶材	PbSe	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硒化钼	MoSe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硒化铌	NbSe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硒化钽靶材	TaSe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二硒化钨	WSe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
硒化锌靶材	ZnSe	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

碲化物陶瓷靶材 <

材料名称	化学符号 /td>	纯度	规格
碲化铝靶材	AlTe	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碲化镉靶材	CdTe	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碲化铅靶材	PbTe	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碲化钼	MoTe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碲化铌	NbTe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碲化钽	TaTe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碲化钨	WTe2	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
碲化锌靶材	ZnTe	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

锑化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	规格
锑化铟	InSb	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
锑化镓	GaSb	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
锑化镍	NiSb	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

砷化物陶瓷靶材

材料名称	化学符号	纯度	规格
砷化铟	InAs	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
砷化锡	SnAs	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
砷化镓靶材	GaAs	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工

其他溅射用陶瓷靶材 (其它化合物陶瓷靶材，混合物陶瓷靶材,金属陶瓷靶材，掺杂靶材)

材料名称	化学符号	纯度	规格
氧化铝+氧化镁	Al2O3+MgO 1:1	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铝+氧化锆	Al2O3 +ZrO2 6:4	99.95%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铝+氧化锌	Al2O3+ZnO	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化锑+氧化锌	ZnO+Sb2O3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氟化钙+氟化铈	(CaF2 +CeF3 1:1)	99.9%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五氧化二铌+二氧化钛	TiO2+ Nb2O5 7:3	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五氧化二钽+二氧化钛	Ta2O5+ TiO2 1:1	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
五氧化二钽+二氧化锆	Ta2O5+ ZrO2 3:7	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
二氧化钛+二氧化锆	TiO2+ ZrO2 1:1	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
磷化铟靶材	InP	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
磷化镓靶材	GaP	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化铜铟 (CuO+In2O3)	CuInO2	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
钇铝石榴石(Y3Al5O12)	YAG	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
氧化钇掺氧化锆	YSZ	99.99%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工
YBa2Cu3O7-x	YBCO	99.999%	圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶靶，按图纸加工