材料选型与采购目录

溅射靶材

溅射靶材是薄膜沉积过程中的固体材料源，可由单质、合金或化合物制成。选择靶材时，除了成分和纯度，还应明确靶形、尺寸、背板及设备接口；不同材料体系需要匹配不同的沉积条件。

选型要点：说明圆靶或矩形靶尺寸、厚度、背板要求、设备型号及目标膜层。