靶材重量与用量估算
[基准：几何体积 × 理论密度]
材料工具 / 圆靶 / 方靶 · 几何估算
靶材重量与用量
按尺寸与密度估算靶材重量，结合输入的膜厚、利用率与沉积效率估算用量。
资料与适用范围
重量按平面圆柱或长方体计算，不计背板、孔槽、倒角与实际加工余量。密度可修改；晶圆用量是设定条件下的估算，不代表实际工艺寿命。
按尺寸与密度估算靶材重量，结合输入的膜厚、利用率与沉积效率估算用量。
重量按平面圆柱或长方体计算，不计背板、孔槽、倒角与实际加工余量。密度可修改；晶圆用量是设定条件下的估算，不代表实际工艺寿命。