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功能薄膜靶材

包括耐磨、减摩、抗腐蚀和自润滑等膜系列,可镀制钻头、刀具、模具等。
功能镀膜靶材主要有: 铬、钛铝、钛、锆、镍、钨、不锈钢、特种合金等金属靶 ,其中钛铝靶和铬靶是用先进的热等静压(HIP)工艺生产, 成分均匀,晶粒尺寸小于50微米。还可提供用 高纯石墨靶 (纯度99.9995%用于镀制 类金刚石 )、硅靶、二氧化硅靶、氧化铝靶、 氮化物靶、硼化物靶、硫化钨靶、硫化钼等非金属/陶瓷靶 。其中镀硬质膜用主要有铬靶,钛铝靶,锆靶,不锈钢靶,碳化钛靶,氮化硅靶,氮化硼靶,二硼化钛靶,碳化四硼靶等,自润滑有硫化钼靶,石墨靶等。主要靶型有圆饼靶等、同轴圆柱靶和平面靶。我们还可根据用户图纸加工特殊尺寸要求的靶材。

主要产品列表如下:

材料名称 化学符号 纯度 规格
金属铝 Al 99.99% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
铝铬合金靶材 AlCr 99.95% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
黄金靶材 Au 99.95% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
碳化硼靶材 B4C 99.5% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
氮化硼靶材 BN 99.5% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
碳靶材 C 99.99% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
金属铬靶材 Cr 99.9% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
氮化钛靶材 CrN 99.5% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
二硫化钼靶材 MoS2 99.5% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
金属镍靶材 Ni 99.95% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
金属钛靶材 Ti 99.9% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
钛铝合金靶材 TiAl 99.9% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
二硼化钛靶材 TiB2 99.5% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
碳化钛靶材 TiC 99.95% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
氮化钛靶材 TiN 99.9% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
金属钨靶材 W 99.95% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
金属锆靶材 Zr 99.95% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工
氮化锆靶材 ZrN 99.99% 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工

 


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