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功能薄膜靶材
包括耐磨、减摩、抗腐蚀和自润滑等膜系列,可镀制钻头、刀具、模具等。
功能镀膜靶材主要有: 铬、钛铝、钛、锆、镍、钨、不锈钢、特种合金等金属靶 ,其中钛铝靶和铬靶是用先进的热等静压(HIP)工艺生产,
成分均匀,晶粒尺寸小于50微米。还可提供用 高纯石墨靶 (纯度99.9995%用于镀制 类金刚石 )、硅靶、二氧化硅靶、氧化铝靶、
氮化物靶、硼化物靶、硫化钨靶、硫化钼等非金属/陶瓷靶 。其中镀硬质膜用主要有铬靶,钛铝靶,锆靶,不锈钢靶,碳化钛靶,氮化硅靶,氮化硼靶,二硼化钛靶,碳化四硼靶等,自润滑有硫化钼靶,石墨靶等。主要靶型有圆饼靶等、同轴圆柱靶和平面靶。我们还可根据用户图纸加工特殊尺寸要求的靶材。
主要产品列表如下:
材料名称 | 化学符号 | 纯度 | 规格 |
金属铝 | Al | 99.99% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
铝铬合金靶材 | AlCr | 99.95% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
黄金靶材 | Au | 99.95% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
碳化硼靶材 | B4C | 99.5% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
氮化硼靶材 | BN | 99.5% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
碳靶材 | C | 99.99% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
金属铬靶材 | Cr | 99.9% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
氮化钛靶材 | CrN | 99.5% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
二硫化钼靶材 | MoS2 | 99.5% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
金属镍靶材 | Ni | 99.95% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
金属钛靶材 | Ti | 99.9% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
钛铝合金靶材 | TiAl | 99.9% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
二硼化钛靶材 | TiB2 | 99.5% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
碳化钛靶材 | TiC | 99.95% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
氮化钛靶材 | TiN | 99.9% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
金属钨靶材 | W | 99.95% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
金属锆靶材 | Zr | 99.95% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |
氮化锆靶材 | ZrN | 99.99% | 圆片靶,矩形靶,圆柱靶,台阶靶,按图纸加工 |