镀膜材料，我们习惯称之为膜料。近年薄膜的发展日新月异，对膜料也提出了更高的要求。
其他蒸发镀膜材料 (其它陶瓷蒸发镀膜材料，混合物蒸发镀膜材料)
其它化合物蒸发镀膜材料

材料名称	化学符号	纯度	熔点 (oC)	密度 （g/ cm3）	透明波段	折射率	规格	性能
氮化铝	AlN	99.99%					颗粒，粉末，压片
铁酸钡	BaFeO3	99.99%					颗粒，粉末，压片
钛酸钡	BaTiO3	99.99%					颗粒，粉末，压片
钛酸铋	BiTiO3	99.99%					颗粒，粉末，压片
氮化硼	BN	99.5%					颗粒，粉末，压片
硫化镉	CdS	99.9%	1750	4.8	0.5-18um	n=2.4	红棕色颗粒/压片(Dia 30,10mm)	适于电子枪或热蒸发。
硫化镉	CdS	99.999%					颗粒，粉末，压片
碲化镉	CdTe	99.999%					颗粒，粉末，压片
冰晶石	Na3AiF6	99.99%					颗粒，粉末，压片
砷化镓	GaAs	99.99%					颗粒，粉末，压片
氮化铪	HfN	99.5%					颗粒，粉末，压片
硼化铁	FeB	99.5%					颗粒，粉末，压片
铝酸镧	LaAlO3	99.9%					颗粒，粉末，压片
六硼化镧	LaB6	99.9%					颗粒，粉末，压片
钽酸锂	LiTaO3	99.9%					颗粒，粉末，压片
钛酸镧	LaTiO3	99.9%					颗粒，粉末，压片
铌酸锂	LiNiO3	99.9%					颗粒，粉末，压片
硫化铅	PbS	99.999%					颗粒，粉末，压片
碲化铅	PbTe	99.999%					颗粒，粉末，压片
钛酸镁	MgTiO3	99.9%					颗粒，粉末，压片
氮化铌	NbN	99.9%					颗粒，粉末，压片
锑化铟	InSb	99.999%					颗粒，粉末，压片
钛酸镨	PrTiO3	99.9%					颗粒，粉末，压片
氮化硅	Si3N4	99.5%					颗粒，粉末，压片
碳化硅	SiC	99.5%					颗粒，粉末，压片
钛酸锶	SrTiO3	99.9%					颗粒，粉末，压片
氮化钽	TaN	99.5%					颗粒，粉末，压片
碳化钽	TaC	99.5%					颗粒，粉末，压片
二硼化钛	TiB2	99.5%					颗粒，粉末，压片
碳化钛	TiC	99.5%					颗粒，粉末，压片
氮化钛	TiN	99.5%					颗粒，粉末，压片
碳化钨	WC	99.5%					颗粒，粉末，压片
铁酸钇	YFeO3	99.5%					颗粒，粉末，压片
YBa2Cu3O7-x	YBCO?	99.99%					颗粒，粉末，压片
硒化锌	ZnSe	99.999%					颗粒，粉末，压片	CVD级
碲化锌	ZnTe	99.999%					颗粒，粉末，压片	CVD级
硫化锌	ZnS	99.99%	1830	4.1	0.75-18um	n=2.4	淡黄色颗粒/压片(Dia 30,10mm)	适于电子枪或热蒸发。

混合物靶材

材料名称	化学符号	纯度	应用
氧化铝氧化镁混合料	Al2O3+MgO 1:1	99.9%
氧化铝氧化锆混合料	Al2O3 +ZrO2 6:4	99.9%
氧化铝氧化锌混合料	Al2O3+ZnO	99.9%	用于制备导电膜。
氧化锑氧化铝混合料	Sb2O3+Al2O3	99.9%
氟化钙氟化铈混合粒	(CaF2 +CeF3 1:1)	99.9%	折射率n=1.3-1.4, 可加工成橙色直径为10毫米的圆片，用于红外波段，形成均匀致密膜层。
五氧化二铌二氧化钛混合料	TiO2+ Nb2O5 7:3	99.9%
五氧化二钽二氧化钛混合料	Ta2O5+ TiO2 1:1	99.9%
五氧化二钽二氧化锆混合料	Ta2O5+ ZrO2 3:7	99.9%
二氧化钛二氧化锆混合料	TiO2+ ZrO2 1:1	99.9%
磷化铟	InP	99.999%
磷化镓	GaP	99.999%
氧化铜铟 (CuO+In2O3)	CuInO2	99.9%
钇铝石榴石(Y3Al5O12)	YAG	99.999%
YBa2Cu3O7-x	YBCO	99.999%
钛酸锶钡	SrBaTiO3	99.999%
氧化铜氧化铝	CuO-Al2O3	99.9%