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钨绞丝,钨舟,钼舟,蒸发盘,钽片,钨坩埚,钽坩埚,钼坩埚,水冷铜坩埚,氧化铝坩埚,碳化硼坩埚,二硼化钛坩埚,其他陶瓷坩埚。。。同时我公司可根据客户要求进行成分配比进行原材料选择,也可根据客户图纸进行机械加工。
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加热法 | 蒸发源 | 蒸发物质 | 膜面积 | 最高使用温度/K | 沉积速度 | 速度控制 | 附着性 | 膜纯度 | 超高真空蒸镀 | 备注 |
1.电阻加热 | 蒸发盘,灯丝,蒸发罐,直接通电 | 几乎所有物质 | 中 | 2000 | 个位数 | 容易 | 良 | 中-优 | 可 | 镀料有和加热丝合金化而发生断丝现象 |
2.外加热坩埚 | 陶瓷坩埚+加热器 | 几乎所有物质 | 中 | 2000 | 二位数 | 容易 | 良 | 低-中 | 不可 | 生成还原沉积物 |
3.辐射加热(弧光加热) | 试样表面,热屏坩埚(W,Ta) | 几乎所有物质 | 小 | 2000-3000 | 二位数 | 难 | 良 | 中-高 | 可 | 也可利用太阳能 |
4.高频加热 | 陶瓷坩埚 | 金属 | 中 | 2000 | 二位数 | 难 | 良 | 中 | 不可 | 不可混入杂质 |
5.电子束加热 | 水冷铜坩埚+电子枪 | 几乎所有物质 | 中 | 3500 | 三位数 | 可能 | 优 | 高-优 | 可 | 高电压(几千伏至几十千伏) |
6.电子轰击 | 水冷铜坩+试样棒 | 金属 | 中 | 2500 | 个位数 | 可能 | 优 | 高 | 可 | 与5。相比不直接受热部分较多,故放气较多,电压至几千伏 |
7. 闪蒸法 | 高温蒸发舟 | 几乎所有物质 | 小-中 | -2500 | 约100 | 不可能 | 优 | 中-高 | 不可 | 适合化合物,合金,喷出释放 |
8. 通电爆线 | 试样自身为线形 | 金属 | 小-中 | -3000 | 约100,000 | 不可能 | 良 | 优 | 不可 | 瞬时产生等离子体 |
9. 电弧加热 | 绝缘容器 | 金属 | 中 | -3000 | 约10 | 不可能 | 良 | 高 | 不可 | 真空度劣化,不稳定 |
10. 离子束加热 | 电弧放电室 | 金属 | 小 | 2500 | 0.01-0.1 | 可能 | 优 | 高-优 | 可 | 超高真空范围 |
11.激光加热 | 试样表面 | 几乎所有金属 | 小 | 3500 | 约1,000,000 | 难 | 良 | 优 | 可 | 加热极薄表面层(10nm) |
蒸发镀膜材料种类繁多,目前市场主要用的就有上百种。制作工艺主要有,晶体破碎,熔融破碎,拉丝,线材裁切,造粒,制粉,压片,浇铸,模压等。产品形状主要有,线材,粉末,不规则颗粒,小圆柱,小球,锥形..