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金属材料(单一元素)& 合金材料(中间合金) & 氧化物 & 氟化物 & 其它膜料 & 蒸发源
蒸发镀膜材料(蒸镀膜料)- 蒸发源

钨绞丝,钨舟,钼舟,蒸发盘,钽片,钨坩埚,钽坩埚,钼坩埚,水冷铜坩埚,氧化铝坩埚,碳化硼坩埚,二硼化钛坩埚,其他陶瓷坩埚。。。同时我公司可根据客户要求进行成分配比进行原材料选择,也可根据客户图纸进行机械加工。

钨坩埚 钼蒸发舟
蒸发源分类列表:
加热法 蒸发源 蒸发物质 膜面积 最高使用温度/K 沉积速度 速度控制 附着性 膜纯度 超高真空蒸镀 备注
1.电阻加热 蒸发盘,灯丝,蒸发罐,直接通电 几乎所有物质 2000 个位数 容易 中-优 镀料有和加热丝合金化而发生断丝现象
2.外加热坩埚 陶瓷坩埚+加热器 几乎所有物质 2000 二位数 容易 低-中 不可 生成还原沉积物
3.辐射加热(弧光加热) 试样表面,热屏坩埚(W,Ta) 几乎所有物质 2000-3000 二位数 中-高 也可利用太阳能
4.高频加热 陶瓷坩埚 金属 2000 二位数 不可 不可混入杂质
5.电子束加热 水冷铜坩埚+电子枪 几乎所有物质 3500 三位数 可能 高-优 高电压(几千伏至几十千伏)
6.电子轰击 水冷铜坩+试样棒 金属 2500 个位数 可能

与5。相比不直接受热部分较多,故放气较多,电压至几千伏

7. 闪蒸法 高温蒸发舟 几乎所有物质 小-中 -2500 约100 不可能 中-高 不可 适合化合物,合金,喷出释放
8. 通电爆线 试样自身为线形 金属 小-中 -3000 约100,000 不可能 不可 瞬时产生等离子体
9. 电弧加热 绝缘容器 金属 -3000 约10 不可能 不可 真空度劣化,不稳定
10. 离子束加热 电弧放电室 金属 2500 0.01-0.1 可能 高-优 超高真空范围
11.激光加热 试样表面 几乎所有金属 3500 约1,000,000 加热极薄表面层(10nm)

蒸发镀膜材料种类繁多,目前市场主要用的就有上百种。制作工艺主要有,晶体破碎,熔融破碎,拉丝,线材裁切,造粒,制粉,压片,浇铸,模压等。产品形状主要有,线材,粉末,不规则颗粒,小圆柱,小球,锥形..

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